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離子濺射儀NE-900

  • 產(chǎn)品型號:NE-900
  • 性能特點:簡單、經(jīng)濟、可靠、外觀精美
  • 產(chǎn)品用途:適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實驗電極制作。
  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
離子濺射儀NE-900依據(jù)二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥在工作時結(jié)合內(nèi)部自 動控制電路控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體。根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層均勻純凈。

離子濺射儀NE-900產(chǎn)品特點:


1、簡單、經(jīng)濟、可靠、外觀精美。
2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
3、SETPLASMA 手動啟動按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。
4、真空保護可避免真空過低造成設(shè)備短路。
5、同時可以通過更換不同的靶材(金、鉑、銥、銀、銅等),以達到更細顆粒的涂層。 6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層。


型號 離子濺射儀NE-900
主機規(guī)格 300mm×360mm×380mm(W×D×H)
靶(上部電極) 50mm×0.1mm(D×H)
靶材 Au(標配)
樣品室 硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm(D×H)
靶材尺寸 Ф 50mm
真空指示表 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
離子電流表 最大電流:50mA
定時器 最長時間:0-360S
微型真空氣閥 可連接φ 3mm 軟管
可通入氣體 多種
最高電壓 -1600 DCV
機械泵 標準配置 2L/S(國產(chǎn) VRD-8)

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